TNO voltooit de bouw van haar belichtings- en analysefaciliteit EBL-2 en straalt voor het eerst een euv-bron op een testmonster in de belichtingskamer. De chipindustrie kan de faciliteit gebruiken om het effect van UV-blootstelling op materialen te onderzoeken.

Met de EBL-2-faciliteit kan onder meer de duurzaamheid en de mate van 'vervuiling' door blootstelling aan EUV worden geanalyseerd, meldt TNO. De faciliteit bestaat uit twee delen: er is een verlichtingsdeel, dat op zijn beurt bestaat uit een EUV-lichtbron, een lichtbundeleenheid en een verlichtingskamer. Daarnaast is er een systeem voor de chemische analyse van oppervlakken van testmonsters. Dit werkt op basis van röntgenfoto-elektronenspectroscopie, oftewel XPS. Beide systemen werken in een vacuüm.

Volgens de organisatie kunnen alle bedrijven in de EUV-industrie ermee aan de slag, zoals leveranciers van ASML zoals Zeiss. ASML is het verst gevorderd met de implementatie van euv-lithografie voor machines om chips te maken. Zo verwachten Samsung en GlobalFoundries de ASML-machines te kunnen gebruiken bij de productie van 7nm-chips, wat op zijn vroegst eind 2018 of begin 2019 zal gebeuren. TSMC verwacht alleen euv te kunnen gebruiken met de overstap naar 5nm. ASML's concurrent Nikon werkt ook aan euv-machines en ook onderzoeksinstituut IMEC werkt eraan.

De EUV-lithografietechniek maakt gebruik van extreem ultraviolet licht, dat door zijn kortere golflengte bij chipproductie kleinere structuren kan produceren dan bij immersielithografie. Op dit moment gebruiken chipfabrikanten nog machines op basis van immersielithografie, maar de grenzen van die methode komen in zicht.

Leerchip, neuro-interface en eyetracker

(Hoofd) Systeemontwerper Mechanica / Systeem Architect Mechanica

Deel je vaardigheden voor je droombaan Solliciteer nu!

[Opmerking aangepast door pizzaslice op 9 december 2016 12:36]

[Opmerking aangepast door Shapeshifter op 9 december 2016 16:54]

[Opmerking aangepast door (id)init op 9 december 2016 15:40]

[Opmerking aangepast door eedaan op 9 december 2016 09:30]

[Opmerking bewerkt door Sir Isaac op 9 december 2016 14:49]

[Opmerking aangepast door exorbitex op 9 december 2016 11:21]

[Opmerking aangepast door MOmax op 9 december 2016 16:25]

Op dit item kan niet worden gereageerd.

Nintendo Switch (OLED-model) Apple iPhone 13 LG G1 Google Pixel 6 Call of Duty: Vanguard Samsung Galaxy S21 5G Apple iPad Pro (2021) 11" wifi, 8GB ram Nintendo Switch Lite

Samen met Hardware Info, AutoTrack, Gasmetaal.nl, Nationale Vacaturebank, Intermediair en Independer vormt Tweakers DPG Online Services BV Alle rechten voorbehouden © 1998 - 2021 • Hosting door True